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日本CANON ANELVA真空計M-336MX-SP/M-336MX-RS

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產品品牌：日本CANON
產品名稱：真空計、離子規
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具體規格型號如下所示：
M-336MX-SP
M-336MX-RS

特長:
クリスタルゲージとミニチュアB-Aゲージを組み合わせたコンビネーションゲージ
超高真空から大気圧
高精度、低真空領域において優れた再現性

用途:
真空裝置の粗引き99到達圧力測定、半導體179179電子部品製造裝置の圧力測定など

規格尺寸：
型　名 クリスタルイオンゲージ
M-336MX-SP M-336MX-RS
セットポイント付タイプ RS485タイプ
圧力測定範囲※1 4×10-8～1×105（Pa）
入力電圧 DC+20～28V
消費電力 12W
アナログ出力 0～10V －
セットポイント 2點出力
インターフェース － RS485
入出力コネクタ D‐sub9ピン
最大ケーブル長 300m（1mm2）※3
保護規格 IP40対応
使用溫度範囲※2 5～50℃
保存溫度範囲※2 -20～70℃（非動作時）
センサ－型名 MX-1
センサー材質（主要部） フィラメント：Y2O3/Ir、ケース：SUS304
外形寸法（mm） 149×70×50（NW25）
フランジ形狀 NW16、NW25、NW40、φ70ICF
保護規格 IP40
RoHS, CEマーキング 対応