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日本CANON ANELVA真空計M-361CP-SP/M-361CP-RS

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產品品牌：日本CANON
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具體規格型號如下所示：
特長：
優れた測定安定性
99ピラニとコールドカソードの切替不良、未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを低減
大気圧センサ、ピラニゲージ、コールドカソードゲージの1臺3役
99システムのコストダウンや管の負荷低減に貢獻

用途：
超高真空～大気圧まで、各種真空測定に幅広く対応
(例)
エレクトロニクス99光學：蒸著、コーティング、電子ビームマスク描畫、スパッタリング、イオン注入、MBE
分析：電子顕微鏡、SIMS、AES、XPS他、各種表面/ガス/質量分析
各種工業：アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接、冶金、分子蒸留、ガス充填
高エネルギー物理：加速器、サイクロトロン

規格尺寸：
型　名 コールドカソードピラニゲージ
M-361CP-SP/M-361CP-RS
セットポイント付タイプ RS485タイプ
圧力測定範囲 1×10-7～1×105（Pa）
入力電圧 DC+15～30V
消費電力 2.4W
アナログ出力 0～10V －
セットポイント 2接點出力（DC30V,1A）
インターフェース － RS485
入出力コネクタ D‐sub9ピン ※変換コネクターあり
最大ケーブル長 300m（1mm2）＊1
使用溫度範囲 5～55℃
保存溫度範囲 -20～70℃（非動作時）
センサ－型名 CP2
センサー材質（主要部） フィラメント：W10電極：Mo、絶縁石：Al2O2、ケース：SUS304
外形寸法（mm） 50(W)×50(D)×110(L)（継ぎ手 NW25仕様）
フランジ形狀 NW25、NW40、φ70ICF
保護法令等 RoHS、CEマーキング、IP40