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日本CANON ANELVA真空計M-311HG-SP/M-311HG-RS

南京易鳴機電設備有限公司是一家集營銷的綜合型貿易公司，注冊資本300萬，公司擁有穩定、高效、優質、快捷的供貨渠道。易鳴主營日本原裝全新的進口工業泵、電磁閥、傳感器、UPS電源、流量計、加熱器、儀器儀表、連接器、變壓器、信號燈、壓力開關、工類耗材、機械設備及安全防護等，歡迎新老客戶來電或在線咨詢。
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產品品牌：日本CANON
產品名稱：真空計、離子規
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具體規格型號如下所示：
特長:
ワイドな圧力測定範囲
10-7Pa～10Paまで、超高真空側の特性を犠牲にすることになく、スパッタプロセスを超える低真空領域まで測定可能
高応答アナログ出力
圧力値のアナログ信號出力は、100msec以內と高い応答性を確保し、プロセス圧力コントロールにも使用可能
4つのエミッション電流設定モード
高圧力領域側での使用時のフィラメント壽命改善など、用途に合わせ選択が可能

用途:
生産用真空裝置の圧力測定
半導體スパッタリング裝置の圧力測定
各種真空裝置

規格尺寸：
型　名 イオンゲージ
M-311HG-SP M-311HG-RS
圧力測定範囲 1×10-7～10Pa
入力電圧 DC20～28V
消費電力 12W
アナログ出力 0～10V －
セットポイント 2點リレー出力
インターフェース － RS485
入出力コネクタ Dsub-9（Male）
最大ケーブル長 200m（1mm2）
使用溫度範囲 5～50℃
保存溫度範囲 -20～70℃
センサ－型名 ミニチュアB-Aゲージ（MG-2Iシリーズ）
センサー材質（主要部） フィラメント:Y2O3/Ir、ケース:SUS304
外形寸法（mm） 110×70×50
フランジ形狀 NW16, NW25, ICF34, ICF70
保護規格 IP40
RoHS, CEマーキング 対応